Чипы и бублики

[vlkamov]

зацепив ногтем, извлек вакуумный тубусоид ФХ-92-У, четырехразрядный, статичного поля, емкость два. Продается в магазинах бытовой электроники по пятьдесят центов за штуку. На местном жаргоне – слег.
(ХВВ)

Современная микроэлектроника построена на точнейшем манипулировании веществами на плоскости т.н. подложки. Я бы даже сказал - группировании атомов стройными рядами. И поверхность подложки выполнена с чуть ли не атомарной точностью. Все это делается на суперфабриках, контролируемых сверхдержавами. Уже одна только резка кремниевого монокристалла на пластины - технология останавливающая посторонних в. на дальних рубежах. Но упомянув пару раз "гаражную микроэлектронику" я подумал, что такое сверхпрецизионное оборудование для индивидуального пользования вообще излишне.

Какие пластины !? Какие фотошаблоны и рентгеновские проекторы ?! Если кому-то захочется выделить из сырья несколько граммов железа, неужто будет строить домну ? Нет конечно. Несложная химия и/или электролиз. И в гаражной микроэлектронике тоже не нужны сто-и-более-килограммовые були диаметром 300 мм. Для простых применений уже существуют тонкопленочные технологии, в т.ч. из органики и струйным принтером. Но ведь захочется чего-то покруче.

Так что нужна технология создания небольшой прецизионной поверхности, на которой шеренгами и колоннами будут выстроены атомы полупроводника. Плоскость же технологически очень сложна. В принципе микроэлектродами можно достаточно точно "причесать" поверхность, обеспечить необходимую чистоту и регулярность, наложить примеси в заданные точки. Но двигать их линейно по двум координатам, выглаживая рельеф с атомарной точностью, очень трудно. Если ты не сверхдержава.

А вот вращать заготовку намного проще.
Со второй координатой тоже следует поступить аналогичным образом - т.е. не двигать блок электродов по направляющим, а вращать вокруг оси, перпендикулярной предыдущей.

Получится такая фигура вращения

Продвинутые в математике узнают часть поверхности тора, а продвинутые в гастрономии - дырку от бублика. Для нее пока нет отдельного названия, и чипом это не назовешь. ТУБУСОИД ! На неместном жаргоне - слег ;-)


И все же тубусоид здесь - шутка. Не потому что невозможен, а потому что удобнее в работе почти традиционная форма - чип. Только не плоский, а слегка вогнутый потому что блок электродов для обработки одного чипа проще качать как маятник, чем двигать линейно. На картинке вогнутость преувеличена для наглядности. Если, например диаметр чипа 5..10 мм, а длина консоли 200 мм, "глубина чаши" 0.05..0.1 мм.
Даже жаль, что тубусоид не состоится :-( А вот если откажутся от кремния - нисколько не жаль.

Основной затык у разработчиков, что "стройными рядами" в их представлении - это непременно прямолинейно на всю длину чипа, хотя размер одного вентиля десятки, ну сотни, нанометров.

Ну и да, начальству это не нужно.